由于當(dāng)從內(nèi)部負載孔繪圖時,激光光軸未達到FOUP直接射向操作員,激光繪圖傳感器更安全,涂氮墊片根據(jù)涂層厚度以一定波長吸收光線,如果傳感器使用具有單個波長的激光,光軸可能被完全吸收,導(dǎo)致墊片檢測錯誤,M-D21使用具有一定波長段的LED光源,可始終成功地檢測涂氮墊片,根據(jù)反射光線的數(shù)量進行的墊片檢測可能有時會由于墊片邊緣的形狀而發(fā)生錯誤,M-DW1在受光部分使用2個分隔的受光二極體,通過反射光線的位置而不是數(shù)量檢測墊片,因此,傳感器受墊片厚度或反射光線數(shù)量的影響較小,近來的趨勢顯示出玻璃墊片的快速發(fā)展,這些墊片不反射大量光線,因此它們的邊緣檢測有一定難度,M-DW1不是通過光線數(shù)量而是通過光線位置檢測墊片,因此可忽略光線數(shù)量檢測玻璃墊片,傳感器在0.5ms以內(nèi)反應(yīng),符合墊片檢測的高速和高精度需要,傳感器體積為W80.6mm×H18.3mm×D50mm,僅重75g,傳感器電纜可從4個方向拉出:前.后.左.右,這使得傳感器的安裝更加方便靈活。
具體參數(shù)如下:
M-DW1:中心測量距離:45mm
檢測物體:3英寸以上半導(dǎo)體墊片(注1)
檢測表面:表在具有在受光方向反射光線的側(cè)邊緣(注2)
檢測角度:12.5±5°
墊片間距:在通常靈敏度下可獨立檢測3mm以上間距
適用盒:SEMI標(biāo)準FOUP盒/打開盒
電源電壓:12-24V DC±10%
輸出:NPN輸出/PNP輸出,可通過輸出轉(zhuǎn)換開關(guān)選擇
NPN輸出:NPN開路集電極晶體管
PNP輸出:PNP開路集電極晶體管
輸出操作:入光時ON/遮光時ON,可用開關(guān)選擇
反應(yīng)時間:50μs以下
周圍溫度:0~+50℃(注意不可結(jié)露),保存時:-10~+70℃
注:1)若是8英寸以下墊片,墊片間距定向扁平或表面情況都可能影響檢測.
2)具有尖利邊緣的上光墊片等,由于其在受光方向不能反射光線,因此
不能被檢測.